探針臺是怎么工作的？返回列表

探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針尖端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖端都被設置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產率。

探針臺的分類

探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。

手動探針臺系統顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優點之一是只需要很少的培訓，易于配置環境和轉換測試環境，并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點，非常適合研發人員使用。

全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別undefined(自動對準)。負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試?？梢?4小時連續工作，通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。

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