首發|華科一次性購入三套系統，搭建頂級存儲器件測試平臺返回列表
TS150
產品介紹：
TS150應用于測試半導體晶圓級、器件類電學特性，具備可以快速拖動樣品臺，更換樣品功能，并且有著獨特Platen平臺設計，測試重復性提高95%。MPI 全系列探針臺具備模塊化設計,可搭配不同變倍比顯微鏡，同時與德國ERS聯合開發設計具有氣冷溫控技術的Thermal Chuck同步使用。
產品優勢：
1、氣浮式樣品移動系統
MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手冰球控制，為操作人員提供了很強的便利性，可實現快速XY導航和快速晶圓裝載，同時又不影響精確的定位功能。
2、高度調整比例
探針臺工作臺面具有25毫米的精細高度調節，支持各種應用，獨特的1mm精確刻度可準確指示當前位置。
3、多種卡盤選項
手動系統可提供多種卡盤選項，以滿足不同的預算和應用需求。
4、多種光學系統選擇
提供多種光學器件，可以在用于普通DC / CV應用的立體聲或用于射頻配置的單管MPI SZ10或MZ12之間進行選擇。
5、屏蔽系統
暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏蔽和不透光的測試環境。
6、多種光學系統選擇
提供多種光學器件，可在普通DC / CV應用的立體聲或射頻配置的單管MPI SZ10或MZ12之間進行選擇。
產品應用：
適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS) 和高功率 (HP)。
TS200-SE
產品介紹：
MPI TS200-SE 8英寸探針臺可提供高級EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測量功能。
1、適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
3、支援飛安級低漏電量量測
4、溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C
產品優勢：
1、ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的屏蔽系統，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。
2、ShielDCap™
MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于多種搭配，在簡化日常操作方面發揮了重要作用；完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探針卡支架替換。
3、空氣軸承
MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手冰球控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了操作的便利性，同時又具有額外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。
4、溫度控制集成
晶圓裝載門可以在15°C以下的任何溫度下鎖定，此獨特功能使TS200-SE成為市場上安全的手動探針臺，此外，溫控系統可以通過集成式的觸摸屏來操作，該觸摸屏放置在操作員面前的便利位置，以實現快速的反饋。
5、ERS獨特的AC3冷卻技術
MPI旗下探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術及其空氣管理系統，可減少多達30%至50%的干燥空氣消耗。
6、多種光學系統選擇
MPI光學器件可以選擇單筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10，高達12倍光學變焦的MegaZoom™MZ12或超過42毫米工作距離的EeyZoom™EZ10 ——其具有人體工程學20倍目鏡的10倍光學變焦系統，90mm工作距離和低至2um以下的光學分辨率。
TS3000-SE
產品介紹：
TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發，該系統配備了MPI ShielDEnvironment™，可實現超低噪聲，滿足設備的需求表征，晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。
產品優勢：
1、適用于多種晶圓量測應用，支持2"、4"、6"、8"、12"等晶圓測試并兼容4×4mm碎片測試
2、模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS
3、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
4、可靠性測試 - 精確的壓力測試
5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境
6、專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境，以得到 1/f 超低噪測試結果
7、支援 fA 級超低噪 IV 量測
8、可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作
9、具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C
產品應用：
適用于多種晶圓量測應用。
